Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/212434
Заглавие документа: | Формирование центров свечения в слоях нитрида кремния методом имплантации ионов азота для светоизлучающих структур : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель И. Н. Пархоменко |
Авторы: | Пархоменко, И. Н. Моховиков, М. А. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
Дата публикации: | 2016 |
Издатель: | Минск : БГУ |
Аннотация: | Объектом исследования являются пленки стехиометрического и обогащенного азотом нитрида кремния, а также пленки нитрида кремния, имплантированные высокими дозами ионов азота. Цель НИР - разработка процесса создания слоев нитрида кремния с высокими светоизлучающими свойствами с помощью имплантации ионов азота в структуры SiNx/Si, полученные методом газофазного химического осаждения. Методами химического осаждения из газовой фазы изготовлен набор пластин SiNx/Si с нитридными пленками различного стехиометрического состава толщиной ~300 нм. Проведены отжиги изготовленных образцов в диапазоне температур (800 – 1200) °С в среде азота, а также имплантация ионов азота с энергией 70 кэВ и дозами 1×1015 и 5×1015 см-2. Изучено влияние режимов осаждения, термообработок и имплантации ионов азота на светоизлучающие характеристики нитридных пленок. Определено, что исходные пленки нитрида кремния стехиометрического состава характеризуются заметной фотолюминесценцией в красно-зеленой области при возбуждении в ближней УФ области. Показано, что увеличение концентрации избыточных атомов азота в пленке до 3 % приводит к смещению спектра фотолюминесценции в синюю область. Отжиг при 800 °C приводит к незначительному ослаблению сигнала ФЛ как для пленки стехиометрического состава, так и для пленки, обогащенной азотом. Отжиг при 1200 °C приводит к заметному тушению люминесценции для образца с избытком азота и, напротив, к увеличению интенсивности и смещению спектра ФЛ в синюю область для стехиометрической пленки нитрида кремния. Показано, что методом ионной имплантации азота дозой 1×1016 см-2с последующим отжигом при 1200 °C в течение30 минут можно увеличить интенсивность люминесценции и сместить спектр ФЛ в коротковолновую область. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/212434 |
Регистрационный номер: | № госрегистрации 20142922 |
Располагается в коллекциях: | Отчеты 2016 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Отчет 20142922 Пархоменко.doc | 2,51 MB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.