Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/207624| Заглавие документа: | Дефектообразование в эпитаксиальном кремнии n-типа при имплантации низкоэнергетическими ионами водорода |
| Другое заглавие: | Damage forming in epitaxial n-silicon under hydrogen ions implantation of the low energy / J. M.Pokotilo, A.N.Petuch, N.F.Golubev, V.G.Tsvirko |
| Авторы: | Покотило, Ю. М. Петух, А. Н. Голубев, Н. Ф. Цвырко, В. Г. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2003 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом: материалы V междунар. науч. конф., 6-9 окт. 2003 г., Минск. — Мн.: БГУ, 2003. — С. 190-192. |
| Аннотация: | Методом OLTS исследован энергетический спектр уровней радиационных дефектов в эпитаксиальном кремнии n-типа, облученном ионами водорода с энергией 300 кэВ. Обнаружено возрастание амплитуды пика DLTS с увеличением температуры его регистрации, что свидетельствует об образовании областей скопления дефектов с невысокой, меньшей исходного уровня легирования, плотностью смещения. После выдержки облученных образцов при комнатной температуре в течение нескольких месяцев эти области распадаются с образованием точечных изолированных A-, E-центров и водородосодержащих дефектов с уровнем Ec-0,31 эВ. Показано, что комплексы с уровнем Ес-0,31 образуются путем присоединения к A-центру атомов водорода. При Т>150 0C этот дефект начинает отжигаться, и одновременно восстанавливается А-центр. |
| Аннотация (на другом языке): | Energetic spectrum of the radiation defects in the n-type silicon irradiated by hydrogen ions with 300 keV energy have been investigated by DLTS method. It was made, that A-, E-centers and hydrogen-related defects with Ec-0,31 level form. It was shown, that due to hydrogen atoms add to А-center, complexes with Ec-0,31 level form. Under T>150 0C this defect begin to anneal and at the same time А-center begin to re-establish. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/207624 |
| ISBN: | 985-445-236-0; 985-445-235-2 |
| Располагается в коллекциях: | 2003. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 190-192.pdf | 2,46 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.