Эффекты взаимодействия электронного луча c поверхностью диэлектриков при их анализе методом электронной оже-спектроскопии

Abstract

Одним из наиболее распространенных методов вторично-эмиссионной спектроскопии является электронная оже-спектроскопия (ЭОС). ЭОС основана на исследовании энергетического распределения оже электронов, эмитированных из атомов, расположенных в поверхностной области, в результате ионизации их внутренних оболочек. Методом оже-спектроскопии проводят анализ элементного состава поверхности с высокой чувствительностью, определяют распределение элементов по глубине и поверхности, изучают физические процессы происходящие на поверхности. Однако в ЭОС существует ряд нерешенных проблем. К числу наиболее важных относятся проблемы искажающего влияния первичного электронного пучка. Это влияние особенно заметно для непроводящих (диэлектрических) материалов. В некоторых случаях исследование поверхности диэлектриков методом ЭОС становится вообще невозможным. Целью работы является отработка методов уменьшающих или исключающих искажения оже-спектров при анализе непроводящих материалов. Описаны механизмы и условия возникновения эффекта 'зарядки' под воздействием первичного пучка электронов, его влияние на регистрируемые оже-спектры. Разработаны и описаны приемы и методы оже-анализа диэлектрических материалов.