Исследование процессов формирования и электрофизических свойств гетероструктур PtSi/poly-Si для разработки на их основе микроболометров : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель П. И. Гайдук

Abstract

Объектом исследования являлись гетероструктуры PtSi/a-Si и PtSi/poly-Si, выращенные и легированные различными методами на подложках SiO2/Si3N4/Si, структуры с плазмонными нанопустотами, а также диодные структуры на основе PtSi/Si для мембранных микроболометрических матриц. Цель работы - разработка фундаментальных основ технологии формирования и исследование структурных и электрофизических свойств барьеров (диодов) Шоттки, сформированных на аморфном и поликристаллическом кремнии для повышения эффективности микроболометрических матриц в мембранном исполнении. Основные технологические методы и методы исследований: химическое осаждение из газовой фазы, молекулярно-лучевая эпитаксия, магнетронное распыление, быстрый термический отжиг, селективное травление, просвечивающая и растровая электронная микроскопия, фотопроводимость, оптическая спектрометрия и др. В результате проведенной работы разработаны режимы формирования барьерных структур и микроболометрических матриц на их основе; на подложках SiO2/Si3N4/Si изготовлены гетероструктуры PtSi/a-Si и PtSi/poly-Si, слои с нанопустотами, а также диоды PtSi/Si в мембранном исполнении; исследованы структурные, оптические и электрические характеристики слоев аморфного и поли-кремния, силицидов платины, а также структур и диодов на их основе в зависимости от режимов формирования и обработки. Результаты работы могут быть использованы при разработке приборов оптоэлектроники и, в частности, мембранных микроболометрических матриц. Использование нано-пустот в таких приборах позволит повысить их эффективность за счет плазмонных эффектов. Результаты работы будут использованы при подготовке НИОКР по разработке микроболометрических матриц, совместимых с интегральной технологией. Такие матрицы применяются в качестве сенсорных датчиков, устройств контроля, а также в научных исследованиях.