Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/191292| Title: | Влияние химического состава на оптические свойства пленок нитрида кремния, полученных методом реактивного магнетронного распыления |
| Authors: | Романов, И. A. Климович, И. М. Комаров, Ф. Ф. Зайков, В. А. Пархоменко, И. Н. Власукова, Л. А. Кулешов, В. Н. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Минск : РИВШ |
| Citation: | Квантовая электроника : материалы XI Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 13–17 нояб. 2017 г. / редкол.: М. М. Кугейко (отв. ред.) [и др.]. – Минск : РИВШ, 2017. – С. 99-100. |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/191292 |
| ISBN: | 978-985-585-091-5 |
| Sponsorship: | Работа выполнена при частичной поддержке ГКНТ (грант Ф17КИГ-005) |
| Appears in Collections: | 2017. Квантовая электроника |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 99-100.pdf | 306,25 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.