Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/114151
Заглавие документа: Advanced Ion Beam and Photon Processings of Materials for Micro-, Opto- and Nanoelectronics / F.F. Komarov, A.R. Chelyadinskii
Другое заглавие: Современные ионно-лучевые и фотонные обработки материалов для микро-, опто- и наноэлектроники / Ф. Ф. Комаров, А. Р. Челядинский
Авторы: Комаров, Фадей Фадеевич
Челядинский, Алексей Романович
Komarov, F. F.
Chelyadinskii, A. R.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2013
Издатель: Minsk : BSU
Аннотация: The text-book focuses on the main ways of solving problems of semiconductor materials. Radiation defects, their accumulation, structure transformation into residual damage, influence on electrical activation and diffusion of impurities, formation of inclusions of the impurity second phase and methods of suppression of damage in implanted silicon are analyzed. It is demonstrated that using specially implanted impurities or defects we can fight impurities and defects.
Доп. сведения: Полный текст документа доступен пользователям сети БГУ.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/114151
ISBN: 978-985-518-842-2
Располагается в коллекциях:Учебники и другие пособия факультета радиофизики и компьютерных технологий

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Komarov-Chelyadinskii.pdf13,05 MBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.