Logo BSU

Просмотр Авторы Наливайко, О. Ю.

Перейти: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

или введите несколько первых символов:  
Результаты 12 - 29 из 29 < предыдущий 
Предварительный просмотрДата выпускаЗаглавиеАвтор(ы)
2016Оптимизация процесса химико-механической полировки вольфрама для формирования межсоединений субмикронных ИМСНаливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С.
2010ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ПОЛИ-Ge НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫЗайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Карпович, В. Б.; Наливайко, О. Ю.
2018Осаждение пленок оксида кремния с использованием плазменной активации при производстве интегральных схемНаливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Пшеничный, E. Н.
ноя-2019Осаждение пленок поликристаллического кремния, легированного в процессе роста фосфором, в вертикальном реакторе пониженного давленияНаливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Завадский, С. М.; Жигулин, Д. В.
2024Плазмонное поглощение инфракрасного излучения в периодических структурах Si /Si3N4 /SiO2 /Si /Al с окошечным поверхностным слоемМухаммад, А. И.; Наливайко, О. Ю.; Колос, В. В.; Гайдук, П. И.
2023Повышение селективности плазмохимического травления SiO2/Si при использовании смеси CHF3/CF4Наливайко, О. Ю.; Карась, О. В.; Дорохович, К. А.; Жигулин, Д. В.
2010Разработать и исследовать структуры Si/SiO2/Si с двумерными массивами нанокристаллов Ge для энергонезависимых элементов памяти : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Гайдук, П. И.Гайдук, П. И.; Пшеничный, Е. Н.; Наливайко, О. Ю.; Зайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Дорошкевич, М. А.; Терентьева, О. В.; Пилько, В. В.; Камышан, А. С.; Ивлев, Г. Д.; Гацкевич, Е. И.; Раткевич, С. В.; Борисевич, В. М.; Васильев, Ю. Б.; Рудницкий, К. В.; Лысюк, А. А.; Лепешкевич, Г. В.; Осипов, В. Е.; Чигирь, Г. Г.; Простов, И. В.; Заборовский, Г. А.; Латушко, А. А.; Яцко, К. В.
2013Разработка и исследование процессов выращивания кремний-германиевых гетероструктур для создания полупроводниковых приборов : отчет о научно- исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель П. И. ГайдукГайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Ивлев, Г. Д.; Зайков, В. А.; Прокопьев, С. Л.; Пархоменко, И. Н.; Шевцова, В. И.; Антонович, M. Л.; Наливайко, О. Ю.; Рудницкий, К. В.; Пшеничный, Е. Н.; Лепешкевич, Г. В.; Прокофьев, В. М.
2022Сегрегационно-индуцированное формирование нанокристаллов Ge в оксиде кремнияНаливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Плебанович, В. И.; Гайдук, П. И.
2008Структура и фазовый состав тонких пленок SiGe сплавов, полученных методом газофазного осаждения при пониженном давленииЗайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Гайдук, П. И.; Борисевич, В. М.
2010СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ПОЛИ-Ge ПОСЛЕ ИМПЛАНТАЦИИ И ПОСЛЕДУЮЩЕГО ОТЖИГАЗайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.
2008Структурные и электрофизические свойства тонких Si(1-x)Ge(x) пленок после имплантации В+ и последующего отжигаГайдук, П. И.; Гринько, С. Н.; Зайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.
2021Улучшение геттерирующих свойств сильнолегированных пластин монокристаллического кремния n-типаНаливайко, О. Ю.; Комар, И. И.; Петлицкая, Т. В.; Сечко, Т. Н.; Петлицкий, А. Н.
2016Формирование межкомпонентной изоляции канавками, заполненными диэлектрикомНаливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С.; Кисель, А. М.
янв-2011Формирование нанослоев Ge пиролизом моногермана при пониженном давленииЗайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Турцевич, А. С.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.; Карпович, В. Б.
2016Формирование слоев полицида титана для интегральных микросхем с субмикронными проектными нормамиНаливайко, О. Ю.; Колос, В. В.; Турцевич, А. С.
2010Фотоприемники на основе поли-SiGe/Si структур, модифицированных лазерной обработкойГайдук, П. И.; Зайков, В. А.; Прокопьев, С. Л.; Казючиц, Н. М.; Русецкий, М. С.; Ивлев, Г. Д.; Наливайко, О. Ю.
2010ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК SiGeПрокопьев, С. Л.; Кивеня, С. Ю.; Зайков, В. А.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.; Казючиц, Н. М.; Гайдук, П. И.