Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2016 | Оптимизация процесса химико-механической полировки вольфрама для формирования межсоединений субмикронных ИМС | Наливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С. |
| 2010 | ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ПОЛИ-Ge НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ | Зайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Карпович, В. Б.; Наливайко, О. Ю. |
| 2018 | Осаждение пленок оксида кремния с использованием плазменной активации при производстве интегральных схем | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Пшеничный, E. Н. |
| ноя-2019 | Осаждение пленок поликристаллического кремния, легированного в процессе роста фосфором, в вертикальном реакторе пониженного давления | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Завадский, С. М.; Жигулин, Д. В. |
| 2024 | Плазмонное поглощение инфракрасного излучения в периодических структурах Si /Si3N4 /SiO2 /Si /Al с окошечным поверхностным слоем | Мухаммад, А. И.; Наливайко, О. Ю.; Колос, В. В.; Гайдук, П. И. |
| 2023 | Повышение селективности плазмохимического травления SiO2/Si при использовании смеси CHF3/CF4 | Наливайко, О. Ю.; Карась, О. В.; Дорохович, К. А.; Жигулин, Д. В. |
| 2010 | Разработать и исследовать структуры Si/SiO2/Si с двумерными массивами нанокристаллов Ge для энергонезависимых элементов памяти : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Гайдук, П. И. | Гайдук, П. И.; Пшеничный, Е. Н.; Наливайко, О. Ю.; Зайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Дорошкевич, М. А.; Терентьева, О. В.; Пилько, В. В.; Камышан, А. С.; Ивлев, Г. Д.; Гацкевич, Е. И.; Раткевич, С. В.; Борисевич, В. М.; Васильев, Ю. Б.; Рудницкий, К. В.; Лысюк, А. А.; Лепешкевич, Г. В.; Осипов, В. Е.; Чигирь, Г. Г.; Простов, И. В.; Заборовский, Г. А.; Латушко, А. А.; Яцко, К. В. |
| 2013 | Разработка и исследование процессов выращивания кремний-германиевых гетероструктур для создания полупроводниковых приборов : отчет о научно- исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель П. И. Гайдук | Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Ивлев, Г. Д.; Зайков, В. А.; Прокопьев, С. Л.; Пархоменко, И. Н.; Шевцова, В. И.; Антонович, M. Л.; Наливайко, О. Ю.; Рудницкий, К. В.; Пшеничный, Е. Н.; Лепешкевич, Г. В.; Прокофьев, В. М. |
| 2022 | Сегрегационно-индуцированное формирование нанокристаллов Ge в оксиде кремния | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Плебанович, В. И.; Гайдук, П. И. |
| 2008 | Структура и фазовый состав тонких пленок SiGe сплавов, полученных методом газофазного осаждения при пониженном давлении | Зайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Гайдук, П. И.; Борисевич, В. М. |
| 2010 | СТРУКТУРНЫЕ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ПОЛИ-Ge ПОСЛЕ ИМПЛАНТАЦИИ И ПОСЛЕДУЮЩЕГО ОТЖИГА | Зайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н. |
| 2008 | Структурные и электрофизические свойства тонких Si(1-x)Ge(x) пленок после имплантации В+ и последующего отжига | Гайдук, П. И.; Гринько, С. Н.; Зайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н. |
| 2021 | Улучшение геттерирующих свойств сильнолегированных пластин монокристаллического кремния n-типа | Наливайко, О. Ю.; Комар, И. И.; Петлицкая, Т. В.; Сечко, Т. Н.; Петлицкий, А. Н. |
| 2016 | Формирование межкомпонентной изоляции канавками, заполненными диэлектриком | Наливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С.; Кисель, А. М. |
| янв-2011 | Формирование нанослоев Ge пиролизом моногермана при пониженном давлении | Зайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Турцевич, А. С.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.; Карпович, В. Б. |
| 2016 | Формирование слоев полицида титана для интегральных микросхем с субмикронными проектными нормами | Наливайко, О. Ю.; Колос, В. В.; Турцевич, А. С. |
| 2010 | Фотоприемники на основе поли-SiGe/Si структур, модифицированных лазерной обработкой | Гайдук, П. И.; Зайков, В. А.; Прокопьев, С. Л.; Казючиц, Н. М.; Русецкий, М. С.; Ивлев, Г. Д.; Наливайко, О. Ю. |
| 2010 | ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И СТРУКТУРНЫЕ СВОЙСТВА ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК SiGe | Прокопьев, С. Л.; Кивеня, С. Ю.; Зайков, В. А.; Наливайко, О. Ю.; Пшеничный, Е. Н.; Казючиц, Н. М.; Гайдук, П. И. |