Просмотр Авторы Зубова, О. А.
Результаты 1 - 7 из 7
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| ноя-2023 | Инфракрасная Фурье-спектроскопия структур фоторезист/кремний, используемых для обратной литографии | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Бринкевич, С. Д.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Ластовский, С. Б. |
| 2022 | Исследование структуры полиимидных пленок на кремнии | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Янковский, Ю. Н.; Колос, В. Ф.; Зубова, О. А.; Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В. |
| 2008 | К проблеме идентификации | Зубова, О. А. |
| 2022 | Оптические и прочностные свойства жертвенных слоев на основе полиимидных пленок | Вабищевич, С. А.; Вабищевич, Н. В.; Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
| 2023 | Радиационно-индуцированные процессы в пленках негативного фоторезиста на монокристаллическом кремнии | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |
| 2023 | Спектры нарушенного полного внутреннего отражения облученных электронами пленок полиимида | Бринкевич, Д. И.; Гринюк, Е. В.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А.; Ластовский, С. Б. |
| 2022 | Спектры нарушенного полного внутреннего отражения пленок негативного фоторезиста NFR 016 D4 | Бринкевич, Д. И.; Просолович, В. С.; Колос, В. В.; Зубова, О. А. |