Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/292864| Заглавие документа: | Исследование структуры полиимидных пленок на кремнии |
| Другое заглавие: | Investigation of the structure of polyimide films on silicon / D. I. Brinkevich, V. S. Prosolovich, Y. N. Yankovski, V. F. Kolos, O. A. Zubova, S. A. Vabishchvich, N. V. Vabishchvich |
| Авторы: | Бринкевич, Д. И. Просолович, В. С. Янковский, Ю. Н. Колос, В. Ф. Зубова, О. А. Вабищевич, С. А. Вабищевич, Н. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Материалы и структуры современной электроники : материалы X Междунар. науч. конф., Минск, 12–14 окт. 2022 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (гл. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2022. – С. 35-39. |
| Аннотация: | Исследованы оптические и прочностные свойства пленок полиимида PI-2610, нанесенных на поверхность пластин монокристаллического кремни методом центрифугирования. Установлено, что они ведут себя как упругопластические материалы. Микротвердость пленки, измеренная при нагрузке 2 г, составляла ~ 0,5 ГПа. В спектре нарушенного полного внутреннего отражения полиимида PI-2610 присутствуют полосы колебаний 5-членного кольца и валентных колебаний групп С-Nst и СО-Сst . Наиболее интенсивной полосой в спектре нарушенного полного внутреннего отражения является полоса деформационных колебаний С-Н с максимумом при 734 см −1 . Полоса при ~ 1700 см −1 , обусловленная валентными колебаниями двойной связи С=О, имеет два близкорасположенных максимума при 1706 и 1692 см −1 , что свидетельствует о двух вариантах силового поля вокруг связи С=О. Обнаружено присутствие в спектрах полиимида PI-2610 гидроксильных О-Н групп, обусловленных присутствием остаточной воды в структуре полиимида |
| Аннотация (на другом языке): | Optical and strength properties of polyimide PI-2610 films deposited on the surface of single-crystal silicon wafers by centrifugation are investigated. It has been established that they behave like elastoplastic materials. The microhardness of the film measured at a load of 2 g was ~ 0.5 GPa. In the spectrum of the polyimide PI-2610, there are bands of vibrations of the 5-membered ring and valence vibrations of the C-Th and CO-Sv groups. The most intense band in the spectrum of the ATR is the band of deformation vibrations C-H with a maximum at 734 cm −1 . The band at ~ 1700 cm −1 , caused by valence vibrations of the C=O double bond, has two closely spaced maxima at 1706 and 1692 cm −1 , which indicates two variants of the force field around the C=O bond. The presence of hydroxyl O-H groups in the spectra of polyimide PI-2610 was detected due to the presence of residual water in the polyimide structure |
| Доп. сведения: | Свойства, диагностика и применение полупроводниковых материалов и структур на их основе |
| URI документа: | https://elib.bsu.by/handle/123456789/292864 |
| ISBN: | 978-985-881-440-3 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2022. Материалы и структуры современной электроники |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.