Закономерности структурно-фазовых превращений в кремнии и системах “металл-кремний” при воздействии высокоинтенсивных электронных пучков : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель В. В. Углов

Abstract

Объектом исследования являлись металлосодержащие слои кремния, сформированные путём воздействия низкоэнергетических сильноточных электронных пучков на кремний с нанесенным металлическим слоем. Целью данной работы являлось изучение структуры и фазового состава систем «металл-кремний», полученных в результате электронно-лучевой обработки кремния с предварительно сформированным покрытием металла. Комплексные экспериментальные исследования, результаты которых представлены в работе, проводились методами рентгеноструктурного анализа и растровой электронной микроскопии. В результате исследований установлены оптимальные режимы воздействия сильноточных электронных пучков на кремний и системы «металл-кремний», обеспечивающие формирование металлосодержащих слоев кремния заданной толщины и состава. Моделирование температурных полей в исследуемых материалах позволило установить максимальную температуру нагрева при воздействии электронных пучков, а также скорость охлаждения и градиент температур, которые являются одними из основных факторов, обуславливающих структурно-фазовые превращения в приповерхностных слоях материалов при высокоэнергетических воздействиях. Показано, что воздействие сильноточных электронных пучков позволяет синтезировать слои силицидов металлов толщиной от 1 до 30 мкм, микроструктура, состав и фотоэлектрические свойства которых определяется режимами энергетического воздействия.