Структура, элементный и фазовый состав системы Ti-Zr-Al-N при отжиге в вакууме

Abstract

Синтез и изучение структурно-фазового состояния многокомпонентных нитридных покрытий, обусловлены необходимостью поиска покры-тий, обладающих более широким спектром свойств, по сравнению с мононитридными покрытиями. В ряде работ отмечено, что добавление Al в нитридные системы (TiN, ZrN, CrN) позволяет существенным образом повысить их термическую устойчивость. Однако системы типа Me-Al-N, как правило, образуют метастабильные фазы твердых растворов (c-(Ti,Al)N) и имеют тенденцию к фазовому превращению с образованием равновесных фаз из мононитридов (c-TiN, h-AlN). Добавление Zr в систему Ti-Al-N позволяет формировать фазы твердого раствора, тем самым повысить механические свойства покрытий. Кроме этого, наличие Zr должно приводить к повышению термической стабильности фазового состава покрытий TiZrAlN.