Контроль примесей при магнетронном осаждении пленочных покрытий с помощью малогабаритного спектрометра

Кулешов, В. Н.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/7373

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Кулешов, В. Н.	-
dc.date.accessioned	2012-04-25T11:38:06Z	-
dc.date.available	2012-04-25T11:38:06Z	-
dc.date.issued	2005	-
dc.identifier.uri	http://elib.bsu.by/handle/123456789/7373	-
dc.language.iso	ru	ru
dc.publisher	БГУ	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника	ru
dc.title	Контроль примесей при магнетронном осаждении пленочных покрытий с помощью малогабаритного спектрометра	ru
dc.description.abstracttt	Оперативный контроль нежелательных примесей (воздуха, паров во- ды, паров масла), наличие которых в газово-плазменной технологиче- ской среде приводит к ухудшению качества покрытий или к браку, явля- ется актуальной проблемой. При постановке задачи следует учесть, что использование масс-спектрометрического анализа для ее решения стал- кивается с техническими и методическими сложностями, а также с доро- говизной аппаратной части этого метода. В данном случае целесообразно ориентироваться на эмиссионно-спектроскопический метод, как относи- тельно простой в своей реализации.	ru
Appears in Collections:	Статьи

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
37.pdf		226,48 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar