Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/7373Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Кулешов, В. Н. | - |
| dc.date.accessioned | 2012-04-25T11:38:06Z | - |
| dc.date.available | 2012-04-25T11:38:06Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/7373 | - |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | БГУ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
| dc.title | Контроль примесей при магнетронном осаждении пленочных покрытий с помощью малогабаритного спектрометра | ru |
| dc.description.abstracttt | Оперативный контроль нежелательных примесей (воздуха, паров во- ды, паров масла), наличие которых в газово-плазменной технологиче- ской среде приводит к ухудшению качества покрытий или к браку, явля- ется актуальной проблемой. При постановке задачи следует учесть, что использование масс-спектрометрического анализа для ее решения стал- кивается с техническими и методическими сложностями, а также с доро- говизной аппаратной части этого метода. В данном случае целесообразно ориентироваться на эмиссионно-спектроскопический метод, как относи- тельно простой в своей реализации. | ru |
| Располагается в коллекциях: | Статьи | |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.