Применение тонкопленочных полупроводниковых газовых NiO-сенсоров в озонометрии

Abstract

The main ozone sensitive properties of semiconductor gas sensors have been studied with the testing set-up allowing creating and measuring various concentrations of ozone in air stream. Calibration dependencies for the sensors operating at impulse mode have been derived for a wide range of ozone concentrations. Natural tests of sensors within the operating ozonometer model are led. The tests have shown good prospects for sensors future application in ozonometry. = На установке, позволяющей создавать и измерять различные концентрации озона в воздушном потоке, исследованы основные озоночувствительные свойства полупроводниковых газовых NiO-сенсоров. Построены калибровочные зависимости для сенсоров при импульсном режиме работы для широкого диапазона концентраций озона. Проведены натурные испытания сенсоров в составе действующего макета озонометра. Испытания показали перспективность использования сенсоров в озонометрии.