Эффект дальнодействия при модификации оптических свойств кремнийорганических соединений ионными пучками

Abstract

The result of investigations of the optical properties of the siliconorganic films irradiated by phosphorus, arsenic and stibium ions was presented. The long-range effect is detected during the analization of optical properties of SOG-films irradiated by heavy ions. The theoretical explanation of this phenomenon is done. = Рассматриваются оптические свойства пленок SOG, облученных ионами фосфора, мышьяка и сурьмы. Методами лазерной и спектральной эллипсометрии определены оптические константы модифицированных пленок. Получено, что толщина модифицированного слоя пленок превышает проецированный пробег рассматриваемых ионов в изучаемых пленках. Экспериментальные результаты предполагают проявление эффекта малодозного дальнодействия.