Свойства нанокристаллических покрытий на основе легированного примесями нитрида титана

Abstract

В работе выполнены исследования свойств комплекса подложка – покрытие для установления влияния легирующих элементов и их концентрации на эксплуатационные характеристики покрытий. Объектом исследования явились покрытия из наноструктурированных плёнок на основе нитрида титана, легированные кремнием, хромом, алюминием. В качестве подложек использовалась нержавеющая сталь 12Х18Н10Т. Создание переходного слоя проводилось плавным изменением подачи азота в вакуумную камеру при нанесении. Наносились покрытия TiN, TiSiN, TiCrN, TiAlN. Проведено исследование струк- туры, элементного и фазового состава покрытий. Исследованы эксплуатационные характеристики по- крытий. Полученные результаты могут быть использованы в ряде приложений современной техники и изделий машиностроения, а также в космической технике.