Модификация структуры и свойств пленок олово-фуллерит, облученных ионами бора

Abstract

Методами растровой электронной, атомно-силовой и электросиловой микроскопии и рентгенофазового анализа проведены исследования структуры, фазового состава и локальных электрических свойств двухслойных пленок олово- фуллерит, подвергнутых имплантации ионами В+ (Е = 80 кэВ, Ф = 5·1017 ион/см2). Установлено, что в результате ионной имплантации происходит перемешивание слоев олова и фуллерита, твердофазное взаимодействие, в результате которого формируется гетерофазная структура с неоднородными локальными электрическими свойствами.