Оптические свойства и структура пленок низкотемпературного плазмохимического диоксида кремния

Abstract

Слои диоксида кремния широко используются для пассивации и электрической изоляции активной структуры светодиодов, а так же для придания необходимых оптических свойств многослойным покрытиям. Формируемая пленка оксида должна быть плотной и конформно заполнять структуры с развитой поверхностью, при этом часто существуют ограничения по максимальной рабочей температуре процесса осаждения. Обеспечить выполнение всех этих требований можно при использовании метода химического осаждения из парогазовой фазы (ХОГФ) в плазме высокой плотности. Этот метод наиболее полно выявляет достоинства химических методов осаждения по сравнению с физическими методами. В данной работе представлены экспериментальные результаты по формированию пленок диоксида кремния на стеклянных и кремниевых подложках методом осаждения из парогазовой фазы в плазме высокой плотности. Представлены зависимости коэффициента преломления пленки и изменение ее структуры от параметров технологического процесса.