Микроструктура покрытий TiCrN, сформированных при воздействии плазменных потоков переменной плотности

Abstract

Покрытия TiZrN были сформированы методом конденсации с ионной бомбардировкой поверхности образцов при воздействии плазменных потоков титана и хрома переменной плотности в атмосфере азота. РЭМ исследования показали, что для покрытий, полученных при постоянной суммарной плотности плазменных потоков Ti и Cr формируется столбчатая структура роста с размером столбцов 80-90 нм, в случае переменной – покрытия с переменной микроструктурой: от столбчатой до равноосной. При увеличении суммарного плазменного потока формируется слабо выраженная столбчатая структура роста, переходящая в равноосную. В этом случае размер зерен составляет 30-40 нм. Обратный эффект наблюдается при уменьшении суммарной плотности плазменных потоков: равноосная структура (размер зерен 60 нм) переходит в слабо выраженную столбчатую (размер столбцов 50 нм).