Рентгеновский микроскоп на основе короткофокусной многоэлементной преломляющей линзы

Abstract

X-ray microscope is designed. The microscope consists of X-ray source in the form of copper anode X-ray tube, short focal length compound refractive X-ray lens and CMOS camera. The X-ray lens is designed in the form of glass capillary filled by 161 concave epoxy microlenses with 50 microns curvature radius each. Microscope spatial resolution power is equals to 3–4 microns, field of view is about 200 microns. = Разработан рентгеновский микроскоп, состоящий из рентгеновской трубки с медным анодом, объектива в виде короткофокусной преломляющей рентгеновской линзы с фокусным расстоянием для фотонов с энергией 8 кэВ равным 41 мм и рентгеновской камеры на основе CMOS-сенсора. Линза выполнена в виде стеклянного капилляра, внутри которого сформирована 161 двояковогнутая эпоксидная микролинза с радиусом кривизны 50 мкм каждая. Разрешение микроскопа составляет 3–4 мкм, поле зрения – около 200 мкм.