Формирование низкоразмерных структур на полимерной пленке фокусированным ионным пучком

Abstract

Thin (40 μm) polyimide films were implanted by focused beam of 100 keV Au+ and Fe+ ions with fluencies of 1,0·1016÷1,0·1018 cm–2 at ion current densities of 4 nA/cm2. Dimentions of formed on the surface of the polymer film structures have been investigated by atomic force microscopy. Depth, width and roughness dependencies of formed structures on dose of implanted ions are discussed. = Фокусированными ионными пучками золота и железа диаметром 1 мкм и энергией 100 кэВ в интервале доз 1,0·1016÷1,0·1018 cм–2 при плотности ионного тока 4 нА/cм2 сформированы низкоразмерные структуры в виде углублений на поверхности пленки полиимида. Методом атомной силовой микроскопии изучены дозовые зависимости размеров формирующихся структур. Показано, что глубина формирующихся структур превышает проецированный пробег имплантируемых ионов, а шероховатость дна углублений меньше шероховатости исходной пленки.