Осаждение наноструктурных алмазоподобных пленок из лазерно-эрозионной плазмы в вакууме

Abstract

Scientific researches of structure and optical properties of the thin films, deposited in vacuum on the hot glass substrates by evaporating of graphite with the help of impulsive laser irradiation of nanosecond duration with the density of power below the degree of ionization of laser-erosive plasma, were conducted by the methods of transmission electron microscopy, electronic paramagnetic resonance and optical spectroscopy. = Комплексные исследования методами просвечивающей электронной дифракции и микроскопии, электронного парамагнитного резонанса и оптической спектроскопии показали возможность получения тонких (15÷145 нм) однородных наноструктурных АПП на горячей (T = 500 K) стеклянной подложке с помощью лазерного испарения графита в вакууме при использовании импульсного Nd-излучения наносекундной длительности. Установлено, что наряду с графитизацией возможно возникновение поликристаллических алмазных вкраплений повышенной дефектности. Определен интервал плотности мощности ((5,2÷7,9)·107 Вт/см2) воздействующего в вакууме на графит лазерного излучения, позволяющий получить однородные аморфные алмазоподобные слои с наноразмерными включениями алмаза и прозрачные в видимом и ближнем ИК-диапазонах спектра, что улучшает их адгезию. ПЭМ-исследованиями установлено, что в диапазоне энергий 3÷8 Дж протекает процесс двухступенчатого лазерно-эрозионного травления аморфных АПП.