Послойный анализ микронных покрытий сверлильного и режущего инструмента методом двухимпульсной лазерной атомно-эмиссионной спектроскопии

Abstract

The possibilities of using double-pulse laser atomic-emission spectroscopy for layer-by-layer analysis of functional coatings of drill and cutter instrument are considered. A new method for the submicron-resolution quantitative investigation of a PVD-coating of steel cutter is developed. It is found that PVD-coating consists of 10 layers differencing in thickness and concentration of the components – Al, Ti, N. = Исследованы возможности двухимпульсной лазерной атомно-эмиссионной спектроскопии для послойного анализа PVD-покрытий сверлильного и режущего инструмента. Разработан новый метод исследования PVD-покрытия стальной фрезы с субмикронным разрешением. Установлено, что PVD-покрытие состоит из 10 слоев различной толщины, в каждом из которых наблюдается отличная от других концентрация основных компонентов – Al, Ti, N.