Моделирование методом Монте-Карло низкотемпературной подвижности двумерных электронов в инверсионном слое кремния

Abstract

Методом Монте-Карло моделируется перенос двумерных (2D) электронов в инверсионном слое кремния в диапазоне температур 4.2/40 K, когда имеет место электрический квантовый предел и заселена только одна нижайшая подзона. При этом учитываются два механизма рассеяния —- на удаленных ионизированных примесях и шероховатостях поверхности, а также их зависимость от поляризуемости 2D электронного газа. Рассчитаны подвижность и коэффициент теплых электронов в слабых электрических полях. Полученные данные сравниваются с результатами, известными в литературе.