Влияние атомной доли металла на шероховатость поверхности и электросопротивление пленок фуллерит–висмут

Abstract

Методами атомно-силовой и растровой электронной микроскопии, рентгеноспектрального микроанализа, рентгенофазового анализа и комбинационного рассеяния света исследованы морфология поверхности, элементный и фазовый состав, а также электросопротивление пленок фуллерит–висмут c разной атомной долей металла (2–5%), полученных из совмещенного атомно-молекулярного потока на подложках из окисленного монокристаллического кремния. Установлена зависимость размера структурных элементов, основных параметров шероховатости поверхности, фазового состава и электросопротивления пленок от атомной доли висмута.