УФ-идуцированная поликонденсация оксосоединений молибдена

Abstract

Показано, что термическая активация полимолибденовой кислоты в водном растворе обеспечивает получение коллоидных растворов олигомеризованной оксокислоты с низким уровнем полидисперсности, способных к эффективной поликонденсации при УФ-облучении как в растворе, так и в конденсированном состоянии (в виде пленок). В составе пленок процессы фотополимеризации олигомеров протекают по 3D-механизму, результатом чего является радикальное сглаживание микрорельефа формирующегося оксидного слоя (среднее отклонение профиля поверхности от базовой линии уменьшается с 28 до 10 нм) и снятие внутренних напряжений в пленке, приводящее к исчезновению исходного сетчатоподобного микрорельефа поверхности. Это обеспечивает сохранение размерной стабильности микрорисунков при использовании пленок на основе термоактивированной полимолибденовой кислоты в качестве высокоустойчивого неорганического фоторезиста для глубинного ионного травления