Морфология поверхности, оптические и электрофизические свойства пленок оксида цинка, легированного кобальтом, полученных методом лазерного осаждения

Abstract

Представлены результаты комплексного исследования тонких пленок оксида цинка ZnO+15%Co, осажденных в вакууме (p = 2.2 ⋅ 10–2 мм рт. ст.) на кварцевую и кремниевую подложки при многоим- пульсном высокочастотном (f ∼ 10—12 кГц) лазерном воздействии на керамическую мишень с плот- ностью мощности лазерного излучения q = 81 МВт/см2. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, выявлены особенности спектров пропускания. Проведен анализ фотоэлектрических свойств структуры ZnO+15%Co/Si.