Методы исследования твердых тел №УД-86/р

Abstract

Программа дисциплины «Методы исследования твердых тел» разработана для специальности 1-31 04 01 – 01 10 (научно-исследовательская деятельность). Целью дисциплины является освоение студентом физических принципов и средств исследования структуры, состава и свойств твёрдых тел, а также приборных структур на их основе. Особое внимание уделяется современным экспрессным методам измерения параметров, которые являются основными для производственного контроля качества полупроводниковых материалов и структур, а также составляют основу многих методов исследования в области физики полупроводников и полупроводниковых приборов. Излагаются методики исследований, приводятся схемы экспериментальных установок и анализируются условия их применимости. Курс лекций предполагает освоение студентами спецкурсов курсов «Электронные процессы в металлах, полупроводниках и диэлектриках» и «Взаимодействие излучений с твердым телом», а также знания из курса общей физики.