Просмотр "2012. Материалы и структуры современной электроники" Авторы Ташлыков, И. С.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2012 | НАНОТВЕРДОСТЬ ПЛЕНОК И ДИФФУЗИЯ АТОМОВ Ti И Co В КРЕМНИИ, МОДИФИЦИРОВАННОМ ИОННО-АССИСТИРОВАННЫМ ОСАЖДЕНИЕМ ПОКРЫТИЙ В СОЧЕТАНИИ С ОБЛУЧЕНИЕМ ИОНАМИ Xe | Михалкович, О. М.; Ташлыков, И. С.; Барайшук, С. М. |