Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/32084
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorКолесников, В. М.-
dc.contributor.authorОсин, С. А.-
dc.date.accessioned2013-02-06T12:30:36Z-
dc.date.available2013-02-06T12:30:36Z-
dc.date.issued2000-
dc.identifier.citationКвантовая электроникаru
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/32084-
dc.language.isoruru
dc.publisherБГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехникаru
dc.titleМикроинтерферометр для контроля размеров субмикронных топологических элементовru
Appears in Collections:2000. Квантовая электроника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
115.pdf33,48 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar



Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.