Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Факультет радиофизики и компьютерных технологий
  3. НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ФАКУЛЬТЕТА РАДИОФИЗИКИ И КОМПЬЮТЕРНЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
  4. Сборники научных статей и материалы конференций факультета радиофизики и компьютерных технологий
  5. Квантовая электроника
  6. 2000. Квантовая электроника
Даты публикации Авторы Заглавия Темы
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/32084
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorКолесников, В. М.-
dc.contributor.authorОсин, С. А.-
dc.date.accessioned2013-02-06T12:30:36Z-
dc.date.available2013-02-06T12:30:36Z-
dc.date.issued2000-
dc.identifier.citationКвантовая электроникаru
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/32084-
dc.language.isoruru
dc.publisherБГУru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехникаru
dc.titleМикроинтерферометр для контроля размеров субмикронных топологических элементовru
Располагается в коллекциях:2000. Квантовая электроника

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
115.pdf33,48 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.