Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/31416
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorГайдук, П. И.-
dc.contributor.authorЗайков, В. А.-
dc.contributor.authorКазючиц, Н. М.-
dc.date.accessioned2013-02-01T09:53:29Z-
dc.date.available2013-02-01T09:53:29Z-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/31416-
dc.language.isoruru
dc.publisherРЕДАКЦИОННО-ИЗДАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР АКАДЕМИИ УПРАВЛЕНИЯ ПРИ ПРЕЗИДЕНТЕ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬru
dc.subjectЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехникаru
dc.titleФормирование структур на основе Si–SiO2 методом реактивного магнетронного распыленияru
Располагается в коллекциях:2008. Квантовая электроника

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
ФОРМИРОВАНИЕ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ Si–SiO2 МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ.pdf381,04 kBAdobe PDFОткрыть
Показать базовое описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.