Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/31416
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Гайдук, П. И. | - |
dc.contributor.author | Зайков, В. А. | - |
dc.contributor.author | Казючиц, Н. М. | - |
dc.date.accessioned | 2013-02-01T09:53:29Z | - |
dc.date.available | 2013-02-01T09:53:29Z | - |
dc.date.issued | 2008 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/31416 | - |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | РЕДАКЦИОННО-ИЗДАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР АКАДЕМИИ УПРАВЛЕНИЯ ПРИ ПРЕЗИДЕНТЕ РЕСПУБЛИКИ БЕЛАРУСЬ | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
dc.title | Формирование структур на основе Si–SiO2 методом реактивного магнетронного распыления | ru |
Располагается в коллекциях: | 2008. Квантовая электроника |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
ФОРМИРОВАНИЕ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ Si–SiO2 МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ.pdf | 381,04 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.