Исследование процессов при напылении наноплёночных резисторов из оксидов цинка, легированных медью, при лазерном распылении цинка и меди в атмосфере воздуха

Воропай, Е. С.; Коваленко, М. Н.; Алексеенко, Н. А.; Зажогин, А. П.

Issue Date Author Title Subject

Please use this identifier to cite or link to this item: https://elib.bsu.by/handle/123456789/310603

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Воропай, Е. С.	-
dc.contributor.author	Коваленко, М. Н.	-
dc.contributor.author	Алексеенко, Н. А.	-
dc.contributor.author	Зажогин, А. П.	-
dc.date.accessioned	2024-03-22T11:29:09Z	-
dc.date.available	2024-03-22T11:29:09Z	-
dc.date.issued	2024	-
dc.identifier.citation	Сборник научных трудов содержит материалы докладов, включенных в программу XIII Международной конференции по фотонике и информационной оптике, проходившей 24-26 января 2024 г. в г. Москве. c.397-398	ru
dc.identifier.uri	https://elib.bsu.by/handle/123456789/310603	-
dc.description.abstract	Изучены процессы при напылении газочувствительных наноплёночных резисторов из оксидов меди, легированных оксидами цинка, методом абляции сдвоенными лазерными импульсами гибридной мишени состоящей из склеенных между собой пластинок из цинка Ц0 и меди М2 в атмосфере воздуха. Резистор напылён на дорожку шириной 300 мкм изготовленной в медной фольге на фольгированном стеклотекстолите. Оценены параметры чувствительности сенсора на аммиак, воду, уксусную кислоту.	ru
dc.language.iso	ru	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/restrictedAccess	ru
dc.subject	ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика	ru
dc.title	Исследование процессов при напылении наноплёночных резисторов из оксидов цинка, легированных медью, при лазерном распылении цинка и меди в атмосфере воздуха	ru
dc.title.alternative	Study of processes during spraying of nanfoilm resistors from zinc oxides doped with copper, during laser spraying of zinc and copper in the air atmosphere	ru
dc.type	conference paper	ru
dc.rights.license	CC BY 4.0	ru
dc.description.alternative	The processes during deposition of gas-sensitive nanofilm resistors from copper oxides doped with zinc oxides were studied using the method of ablation with dual laser pulses of a hybrid target consisting of zinc CО and copper M2 plates glued together in an air atmosphere. The resistor is sprayed onto a 300 micron wide track made of copper foil on foiled fiberglass laminate. The sensitivity parameters of the sensor for ammonia, water, and acetic acid were assessed.	ru
Appears in Collections:	Кафедра лазерной физики и спектроскопии (статьи)

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
XIII_konf_Fotonika_SBOR_2024_2_377-378.pdf		699,48 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record Google Scholar