Физика тонких пленок УД-308/р

Abstract

В спецкурсе «Физика тонких пленок» рассматриваются основные вопросы физики тонких металлических пленок: механизм образования ва- куумных конденсатов, влияние условий конденсации на структуру пленок, изменение температурных границ стабильного существования кристалли- ческих и аморфных фаз с изменением толщины пленок. Особое внимание уделено методам электронномикроскопического исследования процессов зарождения и основных разновидностей роста пленок на изотропных и кристаллических подложках в связи с механизма- ми конденсации и процессами взаимодействия растущих зародышей с уча- стием коалесценции и без нее. Излагаются также основные теоретические представления и экспе- риментальные данные о размерных эффектах, позволяющих описать изме- нение в пленках температур фазовых переходов и другие эффекты, обу- словленные влиянием поверхностной энергии. Практическое применение тонких пленок основано на своеобразии их свойств, существенным образом отличающихся от свойств тех же материалов в массивном состоянии. Поэтому в курсе лекций главное внимание уделено основным физическим свойствам тонких пленок: электрическим, термоэлектрическим, гальваномагнитным, фотоэлектрическим, оптическим, магнитным, тепловым, механическим, а также влиянию на эти свойства некоторых физических и технологических параметров. В результате изучения дисциплины студенты должны ЗНАТЬ: - физические закономерности и особенности зарождения и роста тонких пленок; - основные методы формирования и анализа тонких пленок; - особенности проявления размерных эффектов в тонких пленках, их влияние на микроструктуру, фазовый состав и физические свойства; УМЕТЬ: - выявлять качественные и количественные закономерности формирования микроструктуры и фазового состава тонких пленок в зависимости от материала пленок и метода их нанесения. - выбирать оптимальные методы и параметры нанесения тонких пленок с заданной микроструктурой, элементным, фазовым составом, механическими и электрофизическими свойствами. - определять оптимальные методы анализа тонких пленок для получения достоверной информации об их структуре и составе. БЫТЬ ОЗНАКОМЛЕННЫМИ: 4 - с основными областями применения тонких пленок; - с современными направлениями исследований в области физики тонких пленок и тонкопленочных технологий; - с перспективными методиками исследования микроструктуры, со- става и физических свойств тонких пленок.