Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди легированных железом при лазерном распылении меди и железа в атмосфере воздуха

Abstract

Для создания датчиков контроля состава атмосферного воздуха большой интерес представляют такие материалы, как оксиды металлов, в частности оксиды меди CuO и Cu 2 O (с шириной запрещенной зоны 1.2 эВ и 2.1 эВ соответственно). Преимуществами оксидов меди является их низкая стоимость и химическая стойкость. В литературе сообщалось о ряде методов синтеза материалов для разработки газовых датчиков с использованием полупроводниковых наноструктур p-CuO, легированных цинком, оловом, железом и т.д., таких как сольватермическое, термическое испарение, гидротермический и микроволновый гидротермальный синтез .