Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/302389Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Стогний, А. И. | |
| dc.contributor.author | Серокурова, А. И. | |
| dc.contributor.author | Новицкий, Н. Н. | |
| dc.date.accessioned | 2023-10-02T06:47:00Z | - |
| dc.date.available | 2023-10-02T06:47:00Z | - |
| dc.date.issued | 2023 | |
| dc.identifier.citation | Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы VII Междунар. науч.-практ. конференции, посвященной 120-летию со дня рождения академика Антона Никифоровича Севченко, 18–19 мая 2023 г., Минск / НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» БГУ ; [редкол.: Ю. И. Дудчик (гл. ред.), И. М. Цикман, И. Н. Кольчевская]. – Минск, 2023. – С. 381-383. | |
| dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/302389 | - |
| dc.description | Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния | |
| dc.description.abstract | В работе исследованы сравнительные процессы распыления слоев бериллия и алюминия пучками ионов кислорода, энергия которых варьировалось от 300 до 600 эВ. Предложена феноменологическая модель, объясняющая полученные результаты исходя из разности масс и химической активности бериллия и алюминия. Разработаны двухслойные маски для анизотропного травления p-слоев GaN, Si, Y3Fe5O12. Данные структуры составляют основу магнонных и магнитоплазмонных кристаллов для формирования дискретных элементов средств современной информатики СВЧ диапазона частот | |
| dc.description.sponsorship | Исследование выполнено за счёт гранта Белорусского республиканского фонда фундаментальных исследований Т23РНФ-010 и Российского научного фонда №23-43-10004. | |
| dc.language.iso | ru | |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | |
| dc.title | Стойкость пленочных наноразмерных структур Be/BeO, Al/AlOx к распылению медленными ионами O+: маски на их основе для глубокого анизотропного травления | |
| dc.type | conference paper | |
| dc.identifier.deposit | №007528082023, Деп. в БГУ 28.08.2023 | |
| Располагается в коллекциях: | 2023. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| 381-383.pdf | 662,07 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.