Формирование границы раздела алюминий – поликремний при воздействии длительного и быстрого термических отжигов

Abstract

Приведены результаты исследования влияния длительной и быстрой термообработок на формирование границы раздела алюминий – поликремний на структурах алюминий – поликремний – двуокись кремния с целью изучения формирования омических контактов в элементной базе интегральных микросхем. Установлено, что при стандартной термообработке (450 °C, 20 мин в среде N2) происходит полное растворение поликремния в алюминии с последующей его сегригацией в виде отдельных агломератов на поверхности двуокиси кремния. При быстрой термообработке (450 °C, 7 с в среде Ar) такого явления не наблюдается. Таким образом, при формировании омического контакта алюминий-поликремний на этапе производства интегральных микросхем целесообразно использовать быструю термическую обработку, которая существенно уменьшает растворение поликремния в алюминии и тем самым способствует формированию омического контакта