Физические основы ионно-фотонной обработки материалов. Учебная программа учреждения высшего образования по учебной дисциплине для специальности: 1-31 04 03 Физическая электроника. №УД-11179/уч.

Abstract

Учебная программа «Физические основы ионно-фотонной обработки материалов» разработана для студентов специальности 1-31 04 03 Физическая электроника специализации 1-31 04 03 01 Твердотельная электроника в соответствии с требованиями образовательного стандарта высшего образования по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника» ОСВО 1-31 04 03-2013 и учебного плана Белорусского государственного университета по специальности 1-31 04 03 «Физическая электроника». Целью изучения дисциплины является выработка у студентов физического и инженерного профиля системного подхода при проектировании элементной базы изделий микро-, опто- и наноэлектроники, микро- и наносенсорики, при составлении технологических маршрутов изготовления изделий электроники и моделировании отдельных операций техпроцесса.