Исследование процессов напыления газочувствительных нанопленочных резисторов из оксидов меди при лазерном распылении меди в атмосфере воздуха

Abstract

Для создания датчиков контроля состава атмосферного воздуха большой интерес представляют такие материалы, как оксиды металлов, в частности оксиды меди CuO и Cu 2 O (с шириной запрещенной зоны 1.2 эВ и 2.1 эВ, соответственно). Преимуществами оксидов меди является их низкая стоимость и химическая стойкость. Разрабатываемый в данной работе альтернативный подход основан на использовании высокоинтенсивных сдвоенных лазерных импульсов для распыления (абляции) мишени из медного сплава М2 непосредственно в воздухе. Возникающий в этом случае относительно небольшой (порядка несколько мм) плазменный факел характеризуется высокой температурой, давлением, большой степенью ионизации элементов, поэтому он вполне способен обеспечить интенсивный поток частиц желаемой (высокой) энергии на близко расположенную подложку.