Разработать процессы комбинированного магнетронно-лазерного осаждения наноразмерных пленочных покрытий с массивами частиц : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель А. Б. Бурмаков

Abstract

Объектами исследования являются пленочные покрытия, формируемые комбинированной магнетронно-лазерной плазмой в вакуумных условиях. Цели работы – исследование комбинированной магнетронно-лазерной плазмы в вакуумных условиях и разработка процессов комбинированного осаждения наноразмерных пленочных покрытий с массивами частиц. Основные методы исследований: эмиссионная спектроскопия, электронная микроскопия, силовая атомная микроскопия, спектрофотометрия, комбинационное рассеяние и наноиндентирование. В работе использовались вакуумная установка УВН, лазер LS-2134D, монохроматор МДР-12, спектрометр S100, электронные микроскопы Hitachi S-4800 и LEO-1455 VP, зондовый микроскоп SOLVER P47 PRO. В результате создана методика магнетронно-лазерного осаждения и получены покрытия, обладающие высоким поверхностным плазмонным резонансом. Разработаны структурная схема и макет системы стабилизации процессов реактивного магнетронного распыления. Комбинированным магнетронно-лазерным осаждением получены пленочные структуры Ti/TiC/C, представляющие собой последовательное нанесение пленки Ti, карбида TiC и алмазоподобной углеродной пленки С. Результаты работы могут быть использованы для отработки технологий формирования наноразмерных пленочных покрытий различного назначения, для создания покрытий с высоким поглощением. Методика комбинированного осаждения пленок карбида TiC и трехслойных структур Ti/TiC/C может использоваться для формирования покрытий с высокими механическими свойствами.