ВЛИЯНИЕ ИМПЛАНТАЦИИ ИОНОВ БОРА НА СТРУКТУРНО-ФАЗОВОЕ СОСТОЯНИЕ И ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК ОЛОВО-ФУЛЛЕРИТ

Abstract

Изменения структуры, фазового состава и локальных электрических свойств пленок олово-фуллерит, полученных из совмещенного атомно-молекулярного потока и подвергнутых имплантации ионами В+ (Е = 80 кэВ, Ф = 1·1016 ион/см2), изучались методами атомно-силовой микроскопии, электросиловой микроскопии и рентгенофазового анализа. Методом электросиловой микроскопии выявлено, что свежеприготовленные пленки имеют нанокристаллическую гетерофазную структуру и неоднородное распределение вблизи поверхности z-составляющей градиента электрических сил, емкости и поверхностного потенциала. Установлено, что ионная имплантация пленок приводит к увеличению размера структур- ных элементов, образованию новой фазы SnxC60. Локальные электрические свойства становятся более однородными.