ВЛИЯНИЕ НИЗКОИНТЕНСИВНОГО БЕТА-ОБЛУЧЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПРИПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ КРЕМНИЯ

Abstract

В работе исследовано влияние низкоинтенсивного I ~ 105 cm-2s-1 бета-облучения на механические (микро- и нанот- вердость, склонность к трещинообразованию при внедрении индентора, фазовые превращения под индентором) и электрические (проводимость) свойства монокристаллов кремния. Установлено, что при низкоинтенсивном облучении кремния бета-частицами с энергией выше порога дефектообразования (E > 170 keV) наблюдаются немонотонное во времени изменение механических характеристик приповерхностных слоев. Показано, что микротвердость по сравнению с электрической проводимостью является более чувствительной характеристикой по отношению к модификации де- фектной подсистемы кремния, индуцируемой низкоинтенсивным бета-облучением.