ЭЛЕМЕНТНЫЙ СОСТАВ СТРУКТУРЫ Cu/Al, СФОРМИРОВАННОЙ ДИНАМИЧЕСКИМ АТОМНЫМ ПЕРЕМЕШИВАНИЕМ

Abstract

В данной работе с помощью резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным мо- делированием был проведен анализ элементного состава структур Cu/Al, полученных осаждение меди на алюминие- вую подложку методом динамического атомного перемешивания. В качестве ассистирующих ионов использовались ионы аргона с энергией 6 кэВ. Плотность ионного тока составляла ∼20 мкА/см2, интегральный поток ионов аргона (0,7-1,6)⋅1016 ион/см2. Проведенное исследование позволило установить, что создаваемые структуры содержат ∼10 ат.% меди, ∼1 ат.% кислорода и ∼0,3 ат.% аргона. При этом наблюдается проникновение атомов алюминия в пленку меди вследствие атомного перемешивания, проникновение атомов меди и кислорода в алюминий вследствие радиационно- стимулированной диффузии, а также распыление пленки меди.