Устойчивость конструкционных материалов к блистерингу и флекингу при имплантации высокоэнергетичных ионов гелия и отжиге

Abstract

Изложены результаты исследования устойчивости сплавов алюминия, сталей и карбида кремния к блистерингу и флекингу при облучении ионами гелия с энергией 500 КэВ в диапазоне доз от 10 16 до 3·10 18 ион/cм2 и постимплантационном отжиге. Проведен расчет параметров процесса имплантации легких ионов. Образцы стали-3, нержавеющих сталей, сплава Д16Т и карбида кремния облучены ионами гелия. Методами растровой электронной микроскопии и оптической микроскопии в сочетании с интерференцией изучена структура поверхностных слоев облученных материалов непосредственно после облучения, и после термического отжига при температурах от 300 до 750 ºС. Определены дозовые и температурные диапазоны устойчивости к блистерингу и флекингу для всех изученных материалов. Рассмотрены основные виды нарушений структуры материалов