Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/266588
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Просолович, В. С. | - |
dc.contributor.author | Азарко, И. И. | - |
dc.contributor.author | Петров, В. В. | - |
dc.contributor.author | Бринкевич, Д. И. | - |
dc.contributor.author | Янковский, Ю. Н. | - |
dc.contributor.author | Явид, В. Ю. | - |
dc.date.accessioned | 2021-08-23T11:17:59Z | - |
dc.date.available | 2021-08-23T11:17:59Z | - |
dc.date.issued | 2020 | - |
dc.identifier.other | Рег. № НИР 20192052 | ru |
dc.identifier.uri | https://elib.bsu.by/handle/123456789/266588 | - |
dc.description.abstract | Объектом исследований являлись наноструктурированные пленки и слои на основе полупроводниковых и полимерных структур. Цель работы - создание физико-технологических методов формирования и диагностики эксплуатационных параметров функциональных наноструктурированных материалов и нанокомпозитов на основе полупроводниковых и полимерных структур с использованием электромагнитных и ионно-лучевых воздействий для применения в микро- и наномеханических системах, а также в технологии изготовления приборов опто-, микро- и наноэлектроники. Основные методы исследований: измерение спектров нарушенного полного внутреннего отражения (НПВО), индентирование, атомно-силовая микроскопия, электронно-зондовый рентгеноспектральный микроанализ. В результате разработаны физико-технологические методы формирования наноструктурированных полимерных пленок и слоев с целью применения их в качестве резистов при нанолитографии, исследовано влияние на них различных видов высокоэнергетичного воздействия (ионная имплантация, электронное и γ-облучение и т.д.) и разработаны методы их диагностики. Показано, что в процессе имплантации структур фоторезист/кремний ионами бора, фосфора и серебра происходит интенсивная трансформация спектра НПВО, обусловленная радиационным сшивании молекул новолачной смолы, а также взаимодействием компонентов ДХН-фоторезиста и разложением остаточного растворителя. Радиационно-индуцированные изменения спектров НПВО более выражены в фоторезисте ФП9120 по сравнению с S1813G2SP15. При имплантации P+ и B+ у границы раздела фоторезист/кремний происходит образование сложноэфирных сшивок, что приводит к увеличению удельной энергии отслаивания полимерной пленки. Полученные результаты являются основой для разработки методов формирования и контроля оптических, механических и структурных характеристик функциональных наноструктур, применяемых в технологических процессах опто- и наноэлектроники. Они могут быть использованы на предприятиях электронной промышленности Республики Беларусь, а также стран СНГ при проведении литографических операций в процессе изготовления приборов и структур микро-и наноэлектроники. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.publisher | Минск : БГУ | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Механика | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Энергетика | ru |
dc.title | «Разработка физико-технологических методов формирования функциональных наноструктурированных материалов и нанокомпозитов на основе полупроводниковых, стеклообразных и полимерных структур с использованием электромагнитных и ионно-лучевых воздействий» в рамках задания «Разработка физико-технологических методов формирования функциональных наноструктурированных материалов и нанокомпозитов на основе полупроводниковых, силикатных и полимерных структур с использованием электромагнитных и ионно-лучевых воздействий» : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель В. С. Просолович | ru |
dc.type | report | ru |
dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
Располагается в коллекциях: | Отчеты 2020 |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Отчет 20192052 Просолович.doc | 5,96 MB | Microsoft Word | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.