Просмотр "2011. Взаимодействие излучений с твердым телом" Авторы Ясюнас, А. А.
Результаты 1 - 2 из 2
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2011 | ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОДЛОЖЕК БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А.; Родионов, Ю. А. | |
2011 | ПРОЦЕСС ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ СТРУКТУРЫ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А. |