Взаимодействие частиц и излучений с веществом № УД-9093/уч: учебная программа учреждения высшего образования по учебной дисциплине для специальности: 1-31 04 03 Физическая электроника

Abstract

Цель учебной дисциплины – формирование у студентов систематизированных знаний и практических навыков в области физической электроники, посвященной результатам исследования и применения процессов взаимодействия потоков атомных частиц (электроны, ионы, атомы, молекулы) и плазмы с твердыми телами. Задачи учебной дисциплины: 1. изучить основные физические процессы, происходящие при взаимодействии потоков атомных частиц с поверхностями твердых тел; 2. ознакомить с основными применениями этих процессов взаимодействия в технологии изготовления приборов электроники и микроэлектроники, модификации свойств поверхностей, анализе материалов; 3. ознакомить с основными методами генерации потоков атомных частиц и плазмы.