Физико-химические основы сенсорики №УД-8383/уч.: учебная программа учреждения высшего образования по учебной дисциплине для специальности: 1-31 04 03 Физическая электроника

Abstract

Цель учебной дисциплины – формирование у студентов систематизированных знаний и навыков в области современных интеллектуальных систем, физико-химических основ сенсорики и технологий изготовления миниатюрных датчиков, устройств микромеханики, а также выработке у студентов навыков решения практических задач в данной области. Задачи учебной дисциплины: - ознакомиться с физико-химическими явлениями, лежащими в основе различных интеллектуальных сенсорных систем; - получение знаний о физико-химических принципах функционирования, микро-электромеханических (МЭМС) и микро-электро-оптических систем (МОЭМС) а также основных принципов и технологий их изготовления; - ознакомиться с технологическими особенностями изготовления устройств МЭМС и МОЭМС.