Материалы микро- и наноэлектроники: учебная программа УВО по учебной дисциплине для специальности 1-31 04 07 Физика наноматериалов и нанотехнологий. № УД-8399/уч.

Abstract

Цель данной учебной дисциплины - формирование у студентов целостных представлений о физических законах и явлениях, наблюдаемых в материалах, на которых основано функционирование элементов современной микро- и наноэлектроники. В предлагаемом курсе приводятся основные понятия, относящиеся к кристаллической физике, симметрии кристаллов и их росту. Отражены этапы в развитии электроники, характеризуемые целенаправленными усилиями по изучению свойств широкого спектра новых материалов и структур, получивших общее наименование наноматериалы. Показано, что в качестве материалов изделий микроэлектроники используются легированные полупроводники, металлические и диэлектрические покрытия, в то же время как в наноэлектронике используются искусственно синтезированные среды, содержащие неоднородности с характерными размерами 4-10 нанометров различной природы и конфигурации внутри полупроводниковых и диэлектрических матриц.