Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/242164| Заглавие документа: | Комбинированное магнетронно-лазерное осаждение пленочных плазмонных структур оксида титана с наночастицами серебра |
| Другое заглавие: | Combined magnetron-laser deposition of titanium oxide thin-film plasmonic structures with silver nanoparticles / A. P. Burmakov, V. N.Kuleshov, A. V. Stoliarov |
| Авторы: | Бурмаков, А. П. Кулешов, В. Н. Столяров, А. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2020 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Журнал Белорусского государственного университета. Физика = Journal of the Belarusian State University. Physics. - 2020. - № 1. - С. 54-59 |
| Аннотация: | Рассматривается методика получения пленочных структур, представляющих собой диэлектрическую матрицу с находящимися в ней наноразмерными металлическими частицами. Методика реализована путем одновременного использования магнетронного распыления и импульсного лазерного осаждения. В качестве диэлектрической матрицы применены пленки TiO2, формируемые магнетронным распылением. Металлические частицы Ag осаждались из эрозионного лазерного потока. Представлены условия реализации методики: взаимное расположение магнетрона, лазерной мишени и подложки; характеристики лазерного излучения; параметры магнетронного разряда; давление и состав газовой среды. С помощью методов спектрофотометрии, сканирующей электронной микроскопии и атомной силовой микроскопии получены оптические и структурные характеристики покрытий. Определена толщина покрытия, оценены преобладающий размер частиц и их поверхностная плотность. Установлено значительное влияние частоты лазерных импульсов на поглощение и пропускание полосы поверхностного плазмонного резонанса, а также наличие в пленочной структуре малоразмерных частиц материала катода магнетронного распылителя. |
| Аннотация (на другом языке): | In this work, we consider a method for producing film structures, which are a dielectric matrix with nanosized metal particles in it. The technique is implemented by the simultaneous use of magnetron sputtering and pulsed laser deposition. As a dielectric matrix, TiO2 films formed by magnetron sputtering are used. Metallic Ag particles were deposited from an erosive laser stream. The conditions for the implementation of the technique are presented: the relative position of the magnetron, laser target, and substrate; characteristics of laser radiation; magnetron discharge parameters; pressure and composition of the gaseous medium. Using the methods of spectrophotometry, scanning electron microscopy and atomic force microscopy, the optical and structural characteristics of coatings are determined. The coating thickness was determined, the prevailing particle size and their surface density were estimated. A significant effect of the frequency of laser pulses on the absorption and transmission of the plasmon surface resonance band, as well as the presence in the film structure of small-sized particles of the cathode material of the magnetron sputter, is established. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/242164 |
| ISSN: | 2520-2243 |
| DOI документа: | 10.33581/2520-2243-2020-1-54-59 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2020, №1 |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.