Структурно-фазовое состояние, электрические и механические свойства пленок фуллерита, имплантированных ионами бора

Abstract

Методами атомно-силовой микроскопии, рентгеноструктурного анализа и наноиндентирования исследованы структура, фазовый состав, электрические и механические свойства пленок фуллерита, имплантированных ионами В+ (E=80 кэВ) дозой до 5·1016 см–2. Обнаружено, что ионная имплантация приводит к аморфизации фуллерита, фрагментации части молекул С60, образованию карбидной фазы B4C и, как следствие, к увеличению в 10 раз динамической нанотвердости и снижению электросопротивления пленок.