Просмотр "2019. Квантовая электроника" Авторы Завадский, С. М.
Результаты 1 - 1 из 1
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
ноя-2019 | Осаждение пленок поликристаллического кремния, легированного в процессе роста фосфором, в вертикальном реакторе пониженного давления | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Завадский, С. М.; Жигулин, Д. В. |